Yana biri - bu gaz - fazasi, kimyoviy bug 'usuli, quruq usul yoki yonish usuli deb nomlanuvchi kimyoviy bug' usuli (bo'shat). Uning xom ashyosi odatda kremniy tetraxlid, kislorod (yoki havo) va yuqori haroratlarda reaktiv vodoroddir.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >SiO 2+4 HCL. Havo va vodorod moslashuv, ajratish, sovutish va suvsizlanish, Silca Gel qurishi, changni olib tashlash va filtrlash. Silikon tetrachlorid xom ashyosidan keyin distillash uchun yuboriladi, u qizib ketadi va bug'li va filtrlangan havo bilan sintetik gidroliz pyuresiga yuboriladi. Silikon tetrachlorid yuqori haroratda (olov harorati 1000 daraja) 1800 darajaga (yoki havo) ma'lum miqdorda gaz -}}}}} gidroliziga ega. Shu nuqtada, gaz-fazali sillik zarralari hosil bo'lgan gazsimon zarralar juda nozik va aerozollar, qo'lga olish qiyin.
Shuning uchun ular birinchi bo'lib agegoriyadagi katta zarralarga duchor bo'lib, keyin siklon semillagich tomonidan yig'ilib, deeuktifikatsiyalash pechiga yuboriladi. PH qiymati 4 dan 6 gacha bo'lganiga qadar - fazasi - azot bilan yuviladi, bu 4 dan 6 gacha bo'lgan.